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ZaluzecÐÏࡱá;ÿþ ÐÏࡱá;ÿþ  ÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿ îÊB'œÞ=P”/\!8X1ÈÿArial1Èÿ¼Arial1ÈÿArial1Èÿ¼Arial1ÈÿArial1Èÿ¼Arial1àÿ¼Arial1ÿArial1hÿ¼Arial1ÿ¼Arial1ÈÿArial"$"#,##0_);\("$"#,##0\)"$"#,##0_);[Red]\("$"#,##0\) "$"#,##0.00_);\("$"#,##0.00\)%""$"#,##0.00_);[Red]\("$"#,##0.00\)5*2_("$"* #,##0_);_("$"* \(#,##0\);_("$"* "-"_);_(@_),))_(* #,##0_);_(* \(#,##0\);_(* "-"_);_(@_)=,:_("$"* #,##0.00_);_("$"* \(#,##0.00\);_("$"* "-"??_);_(@_)4+1_(* #,##0.00_);_(* \(#,##0.00\);_(* "-"??_);_(@_)¤0.0¥0.000àõÿ À àõÿ ôÀ àõÿ ôÀ àõÿ ôÀ àõÿ ôÀ àõÿ ôÀ àõÿ ôÀ àõÿ ôÀ àõÿ ôÀ àõÿ ôÀ àõÿ ôÀ àõÿ ôÀ àõÿ ôÀ àõÿ ôÀ àõÿ ôÀ à À à+õÿ øÀ à)õÿ øÀ à,õÿ øÀ à*õÿ øÀ à õÿ øÀ à  À à "À à #À à  À à ¤ À “€ÿ“ÿ“ÿ“ÿ“ÿ“€ÿ…A Fe-Cr-F_xlc…à O-C-Si_xlc…xDC Bias  îÊB'&APage &Pƒ„MzHH(ÚÿãÿâFùe(üHHØ(d'`¡"dXXà?à?3 DC Bias0 «0 Ó3 Id3Q:ÿÿ S FeQ;ÿÿ o Q;ÿÿ ‹ ÿÿ3  ·ÿÿÿ   €€4E43Q:ÿÿ £ FQ;ÿÿ ¿ Q;ÿÿ Û ÿÿ3  Ýÿÿÿ   ÿÿÿÿ4E43Q:ÿÿ ó CrQi;ÿÿ  Q;ÿÿ ÿÿ3  ÿÿÿÿÿ   ÿÿÿÿ4E4DFAŽõî ñ 3O——â + 3#&! ! 43*@à?š™™™™™©?N¤#& ! ! 4%t"3O›& Q d.c. Bias Voltage (V)'4%K»S‰3O‘& Q Composition (at. %)'4523   ããã43–" ¤Ïã%3O¨Î%rþÿÿ²þÿÿ±3O&Q44ýÿ3 ÿÿ  ÿÿÿ   444%xT°Z3OÒ&Q Surface Composition'44 2D@D@D@I@I@I@N@N@N@ÀR@ÀR@ÀR@@U@@U@@U@¤p= ×£À?= ×£p=Ú?¸…ëQ¸Þ?{®GázÄ?\Âõ(\÷?Ãõ(\ÂÕ?R¸…ëQÈ?…ëQ¸õ?®Gáz®×?333333Ó?= ×£p=ê?Ház®Gá? š™™™™™Ù? ÍÌÌÌÌÌì? Ãõ(\Âå?> \(õàId  îÊB'&APage &Pƒ„Mz,,ü âÿ‡ÿ } ce(ü,,Ø(d'`¡"dXXà?à?3 DC Bias0 «0 Ó3 Id3Q:ÿÿ C OQ;ÿÿ _ Q;ÿÿ { ÿÿ3  ÿÿÿÿÿ   €€4E43Q:ÿÿ “  CQ;ÿÿ ¯Q;ÿÿ Ë ÿÿ3  ÿÿÿ   ÿÿÿÿ4E43Q:ÿÿ ã  SiQ;ÿÿ ÿQ;ÿÿ ÿÿ3  ÿÿÿÿÿ   ÿÿÿÿ4E4DFAmõ µ 3O——õ + 3#& ! ! 43*#& ! ! 4%k"3O›& Q d.c. Bias Voltage (V)'4%'»S‰3O‘& Q Composition (at. %)'4523   ããã43–" ½·Ó%3O¼»%èÿÿÿÜÿÿÿ±3O&Q44ýÿ3 ÿÿ  ÿÿÿ   444%xT°Z3OÒ&Q Surface Composition'44 2D@D@D@I@I@I@N@N@N@ÀR@ÀR@ÀR@@U@@U@@U@{®GáZE@333333:@®Gáz>@®GázH@×£p= —3@®GázT>@ ×£p=ŠG@®Gázî3@\Âõ(?@H@áz®Gá3@ö(\Âu>@ ®GázÎH@ š™™™™Y3@ Âõ(\=@> (õ Id îÊ  dü©ñÒMbP?_*+‚€%ŒÁ&APage &Pƒ„¡"Xmà?à?U } ¶ 'Ix“È    ÿ      Ð@F  xÊ,~Œµ 4øžÜ… d,N    @LI€…œµ œ…¾&D.C. Bias Experiment¾"$Surface Compositions (at. %)¾"¾&Elementdc biasatom % stateBinding Energy¾   d.c. Voltage  Fe F Cr Fe½D@*@ (2p3)~ @†@¾ ½ D@*@€D@H@ F½D@€D@ (1s)~ p…@¾ ½ I@0@@b@A@ Cr½D@H@ (2p)~ Á<ì@¾ ½ N@3@€`@€B@ O½D@¯°@ (1s)~ ¬€@¾ ½ ÀR@>@€T@K@ C½ D@x¤@ (1s)~ éÛ@¾  ½ @U@D@€V@Q@ Si½ D@€§@ (2p)~ Z@¾ ¾&  Fe½ I@0@ (2p3)~ <†@¾  F½ I@@b@ (1s)~ |…@¾    d.c. Voltage O C Si Cr½I@A@ (2p)~ ‚@¾ ½ D@¯°@x¤@€§@ O½I@˲@ (1s)~ A ê@¾ ½ I@˲@œž@²§@ C½I@œž@ (1s)~ éÛ@¾ ½ N@d²@$Ÿ@N¨@ Si½I@²§@ (2p)~ Z@¾ ½ ÀR@H@Ÿ@̧@¾ ½ @U@a³@<ž@´¦@ Fe½N@3@ (2p3)~ H†@¾ F½N@€`@ (1s)~ |…@¾ Cr½N@€B@ (2p)~ Cì@¾ O½N@d²@ (1s)~ A ê@¾ C½N@$Ÿ@ (1s)~ éÛ@¾ Si½N@N¨@ (2p)~ Z@¾¾& Fe½ÀR@>@ (2p3)~ D†@¾ F½ÀR@€T@ (1s)~ x…@¾ Cr½ÀR@K@ (2p)~  ‚@¾ O½ÀR@H@ (1s)~ ¨€@¾ C½ÀR@Ÿ@ (1s)~ Øq@¾ Si½ÀR@̧@ (2p)~ FÄ@¾×Dl*PX*¼}{|{{b*c™|{{|Dcabaab*cabaa !"I#x“È$ % & ¾&  !Fe½!@U@D@ !(2p3)~ !D†@¾! 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Roberts - South Bay Technology Scott D. Walck , John T. Grant - Materials Directorate , Wright Lab, WPAFB, Ohio. Nestor J. Zaluzec - Materials Science Div., Argonne National Laboratory Ä36Ä@ÿ¥ÿÿd0dÿÐÿÿd0d@ÿ¥ÿÿd0d3ÿÐÿÿd0d@ÿ¥ÿÿd0d6ÿÐÿÿd0dÿÿÿÌû¸õ°G•ÿÿÿÿ ‚Àû÷ÈHÐÿý‹_¨$ ‚Ðøöxú( ˜ÿý‹`\$¨LL€ûø+–ÿÿÿÿ@ÿ¥ÿÿd}Microstructural observations are not sufficient to characterize all the features which are encountered during characterization of materials. Using a combination of analytical spectroscopies such as XEDS, and EELS we can gain additional insight into the factors controlling or affecting materials properties beyond that which can be determined using standard imaging tools. During these analytical studies focussed probes are frequently employed to determine local compositions, however, subtle processes which involve the specimen, the electron beam and any mobile species on the sample surface frequently cause the build up of hydrocarbon contamination layers. O ¤Æy@ÿ¥ÿÿddÿ¥ÿÿd}#@ÿ¥ÿÿd}M€ø5ö²ú ^ÿÿÿÿÿ¥ÿÿdd Introduction    ÿ¥ÿÿdd ÿÿÿÿÈè†è G”Ô ÿÿÿÿ ‚Àû(÷ (ÿý†ãü$ ‚Ðøöxú( ˜ÿý‹JìhL€ûE÷Úëîÿÿÿÿ@ÿ¥ÿÿd}¬While serving to indicate the location of the electron probe, the contamination obliterates the area of the specimen being analyzed and adversely affects all quantitative microanalysis methodologies. A variety of methods including: UV, electron beam flooding, heating and/or cooling can decrease the rate of contamination, however, none of these methods directly attack the source of specimen borne contamination. Research has shown that reactive gas plasmas may be used to clean both the specimen and stage for AEM, in this study we report on quantitative measurements of the reduction in contamination rates in an AEM as a function of operating conditions and plasma gases. ¬¬¬Ê@ÿ¥ÿÿddÿ¥ÿÿdd×@ÿ¥ÿÿddÿ¥ÿÿdd@ÿ¥ÿÿddÿ¥ÿÿd}ÿ¥ÿÿd}M€ø5ö²ú ^ÿÿÿÿÿ¥ÿÿdd Background    ÿ¥ÿÿddÿÿÿÿÁTû(õxG”Ì ÿÿÿÿ ‚ÀúÈôøÀÀÿý,ªD$ ‚Ðøhöˆúx ¨ÿý,³ä PÐû°x@ 1ÿý ?úL€úåõ2£†ÿ¥ÿÿd}ÊExample: The figure at the right shows the results of contamination formed when a 300 kV probe is focussed on the surface of a freshly electropolished 304 SS TEM specimen. The dark deposits mainly consist of hydrocarbons which diffuse across the surface of the specimen to the immediate vicinity of the electron probe. The amount of the contamination is a function of the time spent at each location. Here the time was varied from 15 - 300 seconds. Ê ¿Ê ÿ¥ÿÿddÿ¥ÿÿddÿ¥ÿÿdd§@ÿ¥ÿÿd}ÿ¥ÿÿd}@ÿ¥ÿÿd}M€ø…öÂú[ nÿÿÿÿÿ¥ÿÿddNReactive Gas Plasma Processing Applications to Analytical Electron Microscopy NNNÿ¥ÿÿdd/ÿ¥ÿÿddÿÿÿÿÿÿA'ïG”Äÿÿÿÿ $ ‚Ðøöˆú( ¨ÿý‹\è –Àû=õåàÿý‹]ä PÐú¤è hÿý PÐ8ò 0ÿý¶M€ø5öÂú nÿÿÿÿÿ¥ÿÿdd Experimental    ÿ¥ÿÿddÌ€ûZõBȦÿ¥ÿÿddÓTEM specimens Electropolished 304 Stainless Steel Chemically polished Silicon Crushed CaZrTiO3 on Holey Carbon Film Microscopy Philips CM30T at ANL Materials Science Div. 300 kV, LaB6 Gun, 20 nm/0.7 nA probe RT DT Be Stage, LN2 Cold Trap Used EDAX PowerMX - XEDS System Gatan 666 PEELS System Plasma Cleaning System Model : PC-150 South Bay Technology Power: 10 W, Gas Pressure 200 mT. Gases: nominally pure Argon & Oxygen mixed as needed in Model 150 Ó Pÿç cÿçB’Ó@ÿ¥ÿÿdd%ÿ¥ÿÿddÿ¥ÿÿdd&ÿ¥ÿÿddÿ¥ÿÿdd @ÿ¥ÿÿdd,ÿ¥ÿÿdd%ÿ¥ÿÿdd#ÿ¥ÿÿddÿ¥ÿÿddÿ¥ÿÿddÿ¥ÿÿdd@ÿ¥ÿÿdd$ÿ¥ÿÿdd"ÿ¥ÿÿdd%ÿ¥ÿÿdd(ÿ¥ÿÿddÿ¥ÿÿdd ÿÿÿÿÀ‹G”¼!ÿÿÿÿ ‚Áû(öpÿàÿý‹\è$ ‚Ðøhöˆúx ¨ÿý‹`\ PÐøÈÿðŽ ˆÿý •Àü;Òý5¯ÿý‹`Œ@Ðý þàp((M€ø…öÂú[ nÿÿÿÿÿ¥ÿÿdd Experimental    ÿ¥ÿÿddœüèüX ýuÿÿ ÿÿÿ¥ÿÿddI0 ÿçÿ¥ÿÿddL€ûEöªsÿ¦ÿ¥ÿÿddQTo measure the rate of contamination we employed electron energy loss spectroscopy (EELS) and monitored the rate of change of the intensity of the zero loss (I0) to the total integrated intensity in the spectrum (IT). This ratio is directly proportional to the local thickness of the specimen. t = l * ln (Io// IT) l = mean free path ° QŸÿç6ÿçUÿçÿçÿçQÛ@ÿ¥ÿÿddÿ¥ÿÿddL@ÿ¥ÿÿddÿ¥ÿÿddÿ¥ÿÿdd'$ÿÿþÐb ·%&G”´#(ÿÿÿÿ $ ‚Ðøhöˆúx ¨ÿý‹]è –ÀûNõ€þ= ˆÿý‹^° PÐþØÿK 8ÿý PÐþP÷Èÿÿý¶M€ø…öÂú[ nÿÿÿÿÿ¥ÿÿdd Data Analysis    ÿ¥ÿÿddÌ€ûkõºþ Nÿÿÿÿ@ÿ¥ÿÿd–Ö Individual Electron Energy Loss Spectra are measured as a function of time Spectra are then individually analyzed and the value of t/l is determined. The instantaneous contamination rate is given by d (t/l)/dT Ö ˆ$  ÖL@ÿ¥ÿÿd–N@ÿ¥ÿÿd–<@ÿ¥ÿÿd–.+ÿÿÿÿÁ.øhöˆúx,-G”„*/ÿÿÿÿ PÐùØþø ÿý ‚Áüõ¸`ÿ`ÿý‹J¬$ ‚Ðøhöˆúx ¨ÿý‹GÄ •ÀüÅýrŠÿý‹G •Àý¥þR‘ÿý‹Æ° •Àþ…ÿ2¡ÿý‹atddM€ø…öÂú[ nÿÿÿÿÿ¥ÿÿdd#Results from Electropolished 304 SSd ####ÿ¥ÿÿddœý8üâRýUPÿÿ ÿÿÿ¥ÿÿdd Untreated     ÿ¥ÿÿddœþýÂIþ5Wÿÿ ÿÿÿ¥ÿÿddArgon Proccessed - 5 min  ÿ¥ÿÿddœþøþ¢Jÿgÿÿ ÿÿÿ¥ÿÿddOxygen Processed - 5 min  ÿ¥ÿÿddL€üõòCÿ&ÿÿÿÿ@ÿ¥ÿÿddýUntreated Specimens exhibit severe contamination Argon gas processing for 5 minutes @ 10 W/200 mT reduces the contamination rate ~ 50 x. Additional treatment of sample with pure Oxygen (5 minutes) reduces the contamination rate further to > 500x. ˆ ýpTý1@ÿ¥ÿÿddÿ¥ÿÿddR@ÿ¥ÿÿdd ÿ¥ÿÿddÿ¥ÿÿddo@ÿ¥ÿÿdd52ÿÿÀ,ÿÿ=34G”|16ÿÿÿÿ PÐúÀú¨` 8ÿý –Àþ=õÿƒúKÿý‹D  –À•ôðaúvÿý‹D4$ ‚Ðø8öˆúH ¨ÿý‹ZX –Àúöõ0ü<ú6ÿý†ãÐ@ÐPûÐP÷P@ÐHð(ÿ˜@Ð ÷Tˆ÷T@Ð ÿ  ÷H@Ðýðþðýð÷X@Ðýø÷\üÀ÷\@ÐH÷dÿ°÷d@ÐýØ÷\ü@÷\žÌ€þZõUÿfúÿÿ ÿÿÿ¥ÿÿdd!After 5 minutes Argon Processing !!!!@ÿ¥ÿÿddÌ€²õ*Dú<ÿÿ ÿÿÿ¥ÿÿdd1After 5 minutes of additional Oxygen Processingþ 1111@ÿ¥ÿÿddM€øUöÂú+ nÿÿÿÿÿ¥ÿÿdd-Comparision Results on Electropolished 304 SS ----ÿ¥ÿÿddÌ€ûõjüùüÿÿ ÿÿÿ¥ÿÿddUntreated Specimen @ÿ¥ÿÿdd<9 ÿÿÿÿÁKü@¸È:;G”L8= ÿÿÿÿ ‚Áü@¸È ÿý‹_´$ ‚Ðøhöˆúx ¨ÿý‹GÜ PÐúÑôÀ@!ÿý (•Àý}ýþ*ÿý‹]ü(•ÀÿµüÒbÿûÿý‹`$(•À}üâ* ÿý‹Dt(•À üŸº ÿý‹LÚÚM€ø…öÂú[ nÿÿÿÿÿ¥ÿÿdd#Results from Electropolished 304 SS? ####ÿ¥ÿÿddœýðýšýTþ ÿÉÿÿ ÿÿÿ¥ÿÿdd 5 min Argon     ÿ¥ÿÿddœ(ÿÒý EÿÁÿÿ ÿÿÿ¥ÿÿdd 10 min Argon     ÿ¥ÿÿddœðšý ÿÑÿÿ ÿÿÿ¥ÿÿdd 15 min Argon      ÿ¥ÿÿddœ€*üÙÿÑÿÿ ÿÿÿ¥ÿÿdd +5 min Oxygen     ÿ¥ÿÿddL€ü]ò« Vÿÿÿÿ@ÿ¥ÿÿd0d#Successive 5 minute processing of the same specimen with Argon continuously reduces the contamination rate but does not completely eliminate the problem A final 5 minute treatement in pure Oxygen always reduced the rate to lower levels. Regardless of the length of time of Argon processing ###™@ÿ¥ÿÿd0dÿ¥ÿÿd0dÿ¥ÿÿd0dˆ@ÿ¥ÿÿd0dC@ÿÿåèÿÿÿÿGABG”D?Dÿÿÿÿ ‚Áü8õ¨ þ0ÿý‹]è$ ‚Ðøhöˆúx ¨ÿý‹Fô PÐùPþuà Hÿý (–À¶ÊÀÿý‹]`(–ÀÕ¶‚°ÿý‹Pl(–À}¶*Ãÿý‹]€XXM€ø…öÂú[ nÿÿÿÿÿ¥ÿÿdd(Results from Chemically Polished Silicon ((((ÿ¥ÿÿddÌ€:ð­†ÿÿ ÿÿÿ¥ÿÿdd Untreated     ÿ¥ÿÿddÌ€òðevÿÿ ÿÿÿ¥ÿÿddArgon Prccessede  ÿ¥ÿÿddÌ€šð ‰ÿÿ ÿÿÿ¥ÿÿddOxygen Processed   ÿ¥ÿÿddL€üUõâƒýöÿ¥ÿÿd0dîInitial Contamination rates of Silicon are less than 304SS Argon alone is very efficient in Silicon Oxygen has a small but measurable effect and always reduces the contamination rate, however, the difference is much less than in 304 SS îîî;@ÿ¥ÿÿd0dÿ¥ÿÿd0d)@ÿ¥ÿÿd0dÿ¥ÿÿd0dˆ@ÿ¥ÿÿd0dJGÿÿÀWWHIG”FKÿÿÿÿ ‚ÁûèõàHÿØÿý³åü$ ‚Ðøhöˆúx ¨ÿýŒáè€ PÐûààð ÿý€ •Àü‘Ûýx ×ÿý³ç´(–Àåï’Øÿý³é8(•À¥ïRàÿý³é<z zM€ø…öÂú[ nÿÿÿÿÿ¥ÿÿdd0Results from Crushed Zirconolite on Holey Carbon 0000ÿ¥ÿÿddœý0ü®ý[ ÿÿ ÿÿÿ¥ÿÿdd#Crushed Zirconolite on Holey Carbon ####ÿ¥ÿÿd0dÌ€)užÿÿ ÿÿÿ¥ÿÿdd Untreated     ÿ¥ÿÿddœÂ)5¦ÿÿ ÿÿÿ¥ÿÿddArgon Processed 5 mink  ÿ¥ÿÿddL€üö+ÿžÿ¥ÿÿd0dnContamination of the Zirconolite is due to suspension of crushed mineral in solvents. A ÒdropÓ of the crushed mineral is then deposited on the H.C. film to make the sample. This leave organic residue on the sample and the Holey Carbon film. Argon treatment greatly reduces the contamination rate, a final treatment in pure Oxygen further decreases the problem. n!ÿçÒ ynô@ÿ¥ÿÿd0dÿ¥ÿÿd0dy@ÿ¥ÿÿd0dQNÿÿÓÍÖÖÓÇÊOPG“äMRÿÿÿÿ ‚Áüõx`ÿpÿý³åü$ ‚Ðøhöˆúx ¨ÿý³æ PÐü0ÿˆH Éÿý ¬ ?¬M€ø…öÂú[ nÿÿÿÿÿ¥ÿÿddResults from Holey Carbon Filmse ÿ¥ÿÿddL€üõ²Cÿ6ÿÿÿÿ@ÿ¥ÿÿd0dTContamination of theHoley Carbon is due to suspension of crushed mineral in solvents. A ÒdropÓ of the crushed mineral is then deposited on the H.C. film to make the sample. This leave organic residue on the sample and the Holey Carbon film. Long processing (~ 15minutes) can effect the Holey Carbon support film and should be avoided. Tô_Tó@ÿ¥ÿÿd0dÿ¥ÿÿd0dÿ¥ÿÿd0d_@ÿ¥ÿÿd0dXUÿÿÉ? ? ? ?VWG“¤TY ÿÿÿÿ ‚Áû¸õ°þ˜ÿý³ÞD$ ‚Ðøhöˆúx ¨ÿý³ÜÄ PÐûpþP  Xÿý •ÀüFÿ¶ý Ýÿý³Ý(–Àþ  þºXÿý³ÝÜ(–ÀÅ<å~ÿý³Úü ¼ M€ø…öÂú[ nÿÿÿÿÿ¥ÿÿddGas Mixing Results ÿ¥ÿÿddœüÈücÿðüé £ÿÿ ÿÿÿ¥ÿÿdd(Normalized Contamination Rate on Silicon ((((ÿ¥ÿÿddÌ€þ*Úþÿÿ ÿÿÿ¥ÿÿddArgon/Oxygen Mixture (50/50)  ÿ¥ÿÿddÌ€âvÈDÿÿ ÿÿÿ¥ÿÿdd'Argon - 5 Minutes + Oxygen 5 MnustesA '' 'ÿ¥ÿÿddÿ¥ÿÿddL€ûÕõêóþ^ÿ¥ÿÿd0döIn all cases tested the most effective cleaning occured when a two step process was carried out. 5 Min pure Argon followed by 5 Min pure Oxygen This was more effective and reduced the contamination rate more than using a Ar/O2 mixture (50/50) öãÿç öa@ÿ¥ÿÿd0dÿ¥ÿÿd0dÿÐÿÿd0dÿÐÿÿd0dÿ¥ÿÿd0dc@ÿ¥ÿÿd0dÿ¥ÿÿd0d_\ÿÿÀÿý]^G“t[`ÿÿÿÿ ‚Áû¸öhˆþÐÿý‹b@$ ‚Ðøhöˆúx ¨ÿý‹aœ PÐû þ˜° ˆÿýªªM€ø…öÂú[ nÿÿÿÿÿ¥ÿÿddHeating Effects of the Plasma ÿ¥ÿÿddL€ûÕö¢kþ–ÿÿÿÿ@ÿ¥ÿÿd0d-Using a conventional thermocouple in an AEM stage, the temperature rise of a SS sample and stage was measured as a function of input power to the plasma. Compared to a 150W flood lamp the increase in temperature is insignificant ~ 5-6 Co for the typical conditions used for cleaning (10 W @ 5 min). -î>-›@ÿ¥ÿÿd0dÿ¥ÿÿd0d‘@ÿ¥ÿÿd0dfcÿÿÀ'ûØõ8deG“Dbg ÿÿÿÿ –ÀõùÌÿøÿý³Þœ$ ‚Ðøhöˆúx ¨ÿý³ä´ PÐ0h ÿý ÀûÖèü¼ˆÿý‹^€ PÐû@÷þ°ÿý –À‰õ± 0ÿý³ßh •Àü5ù­ýUþÿý³Ù PÐúï=¼ÿý(–ÀúÓ`û€èÿý³Þ4@ÐÿÛþå •Àÿ!Ôÿ»Kÿý³Þ¤0Ì€žö3¯ÿ¾ÿÿ ÿÿÿ¥ÿÿdd… Using XPS deposition of surface layers of material, were detected. This occurs only when cleaning conditions are set incorrectly.  …„…ÿ¥ÿÿd0d„@ÿ¥ÿÿd0dM€ø…öÂú[ nÿÿÿÿÿ¥ÿÿddAnalytical Results ÿ¥ÿÿddÌ€¦õësö ÿ¥ÿÿdd’Using XEDS & EELS in the AEM no measurable redeposition of plasma chamber materials or oxide formation was observed on the Silicon or SS samples. ’’’’@ÿ¥ÿÿd0dœü¨üRùçý8ýÊÿÿ ÿÿÿ¥ÿÿdd'Silicon Sample after Ar & O2 Processing '  ÿç  'ÿ¥ÿÿddÿ¥ÿÿddÌ€úðšûc®ÿÿ ÿÿÿ¥ÿÿdd2(Silicon Sample after Ar & O2 Processing (  ÿç  ((ÿ¥ÿÿdd2œÿ†ÿ>ÿžÿÿ ÿÿÿ¥ÿÿdd O K = 532 eV   ÿç   ÿ¥ÿÿddmj ÿÿÿÿÁ5ÿÿ¢klG“inÿÿÿÿ ‚Áû¸õ°þ˜ÿý³ÚÌ$ ‚Ðøhöˆúx ¨ÿý³Ú¼ –Àüö^Ÿ  ÿý³ÜxxM€ø…öÂú[ nÿÿÿÿÿ¥ÿÿdd Conclusions³    ÿ¥ÿÿddÌ€ü"ö˜‚ fÿ¥ÿÿddeReactive Gas PlasmaÕs are an effective means of mitigating the problem of hydrocarbon contamination in an AEM for a wide range of specimen types. When using a capacitive coupled parallel plate geometry optimal conditions are centered around a power rating of 10 W and a gas pressure of 200 mT at a DC bias ~ 40 V. The best results are obtained by using a 2 step processing of pure Argon followed by pure Oxygen for a time interval of 5 minutes each. No AEM detectable species are deposited on the specimen under cleaning conditions. Improperly setting DC bias will sputter material off the r.f. antenna.  eee ’@ÿ¥ÿÿddÿ¥ÿÿddª@ÿ¥ÿÿddÿ¥ÿÿddˆ@ÿ¥ÿÿddÿ¥ÿÿddT@ÿ¥ÿÿddÿ¥ÿÿddH@ÿ¥ÿÿddÿ¥ÿÿddL€ûÕõêóþ^ÿ¥ÿÿd0d  ÿ¥ÿÿd0dtqÿÿÿÌû¸õ°rsG“pu  ")07>ELSZahov?ÿwG•„ÿÿÿÿ ‚ÁûØöpø ÿý,´4 Àÿ6ÿÆV¥ÿý¡¾@ÐvõBv < ÝL€ûõöªÛ Vÿÿÿÿ@ÿ¥ÿÿddRClick to edit Master text styles Second level Third level Fourth level Fifth level R!  R!@ÿ¥ÿÿdd @ÿÐÿÿdd @ÿ¥ÿÿdd @ÿÐÿÿdd @ÿ¥ÿÿdd}zÿÿÿÿd{| ‚ÁÿpùÐ 0ÿý^ïä BÐöpú`þà ÿý L€ÿú söÿÿ ÿÿÿ¥ÿÿddRClick to edit Master text styles Second level Third level Fourth level Fifth level RR R!ÿ¥ÿÿdd ÿ¥ÿÿdd ÿ¥ÿÿdd ÿ¥ÿÿdd ÿ¥ÿÿdd‚Lÿÿÿÿt styl€G•xy~ƒGìàGíðÿÿÿÿ /‰†Lÿÿÿÿÿÿifth l‡ˆG•$…Šÿÿÿÿ LÿÿÿÿÿÿŽG• Œ‘¤D‡cÿ ÿþ,,2ž 2ž˜ 2ž,,(ÿÿÿÿÿÿÿþþþþþþýýýýýýüüüüüüûûûûûûúúúúúúùùùùùùøøøøøø÷÷÷÷÷÷ öööööö õõõõõõ ôôôôôô óóóóóó òòòòòòññññññððððððïïïïïïîîîîîîííííííììììììëëëëëëêêêêêêééééééèèèèèèççççççææææææååååååääääääããããããââââââááááááàààààà ßßßßßß!ÞÞÞÞÞÞ"ÝÝÝÝÝÝ#ÜÜÜÜÜÜ$ÛÛÛÛÛÛ%ÚÚÚÚÚÚ&ÙÙÙÙÙÙ'ØØØØØØ(××××××)ÖÖÖÖÖÖ*ÕÕÕÕÕÕ+ÔÔÔÔÔÔ,ÓÓÓÓÓÓ-ÒÒÒÒÒÒ.ÑÑÑÑÑÑ/ÐÐÐÐÐÐ0ÏÏÏÏÏÏ1ÎÎÎÎÎÎ2ÍÍÍÍÍÍ3ÌÌÌÌÌÌ4ËËËËËË5ÊÊÊÊÊÊ6ÉÉÉÉÉÉ7ÈÈÈÈÈÈ8ÇÇÇÇÇÇ9ÆÆÆÆÆÆ:ÅÅÅÅÅÅ;ÄÄÄÄÄÄ<ÃÃÃÃÃÃ=ÂÂÂÂÂÂ>ÁÁÁÁÁÁ?ÀÀÀÀÀÀ@¿¿¿¿¿¿A¾¾¾¾¾¾B½½½½½½C¼¼¼¼¼¼D»»»»»»EººººººF¹¹¹¹¹¹G¸¸¸¸¸¸H······I¶¶¶¶¶¶JµµµµµµK´´´´´´L³³³³³³M²²²²²²N±±±±±±O°°°°°°P¯¯¯¯¯¯Q®®®®®®R­­­­­­S¬¬¬¬¬¬T««««««UªªªªªªV©©©©©©W¨¨¨¨¨¨X§§§§§§Y¦¦¦¦¦¦Z¥¥¥¥¥¥[¤¤¤¤¤¤\££££££]¢¢¢¢¢¢^¡¡¡¡¡¡_      `ŸŸŸŸŸŸažžžžžžbcœœœœœœd››››››eššššššf™™™™™™g˜˜˜˜˜˜h——————i––––––j••••••k””””””l““““““m’’’’’’n‘‘‘‘‘‘opqŽŽŽŽŽŽrsŒŒŒŒŒŒt‹‹‹‹‹‹uŠŠŠŠŠŠv‰‰‰‰‰‰wˆˆˆˆˆˆx‡‡‡‡‡‡y††††††z………………{„„„„„„|ƒƒƒƒƒƒ}‚‚‚‚‚‚~€€€€€€€~~~~~~‚}}}}}}ƒ||||||„{{{{{{…zzzzzz†yyyyyy‡xxxxxxˆwwwwww‰vvvvvvŠuuuuuu‹ttttttŒssssssrrrrrrŽqqqqqqppppppoooooo‘nnnnnn’mmmmmm“llllll”kkkkkk•jjjjjj–iiiiii—hhhhhh˜gggggg™ffffffšeeeeee›ddddddœccccccbbbbbbžaaaaaaŸ`````` ______¡^^^^^^¢]]]]]]£\\\\\\¤[[[[[[¥ZZZZZZ¦YYYYYY§XXXXXX¨WWWWWW©VVVVVVªUUUUUU«TTTTTT¬SSSSSS­RRRRRR®QQQQQQ¯PPPPPP°OOOOOO±NNNNNN²MMMMMM³LLLLLL´KKKKKKµJJJJJJ¶IIIIII·HHHHHH¸GGGGGG¹FFFFFFºEEEEEE»DDDDDD¼CCCCCC½BBBBBB¾AAAAAA¿@@@@@@À??????Á>>>>>>Â======Ã<<<<<<Ä;;;;;;Å::::::Æ999999Ç888888È777777É666666Ê555555Ë444444Ì333333Í222222Î111111Ï000000Ð//////Ñ......Ò------Ó,,,,,,Ô++++++Õ******Ö))))))×((((((Ø''''''Ù&&&&&&Ú%%%%%%Û$$$$$$Ü######Ý""""""Þ!!!!!!ß 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