Ûßßßßßßßßßßßßßßßßß TRIM Recoil Cascade Calculation ßßßßßßßßßßßßßßßßßßßßßßßßßßßÛ Û FORMAT: Top 10 lines are comments, with line #6 describing experiment. Û Û FORMAT: Line #6 will be written into file COLLISON.TXT if activated. Û Û FORMAT: Data Table has 10 numbers/line, with free format. Û ßßßßßßßßßßßßßßßßßßßßßßß Typical Data File ßßßßßßßßßßßßßßßßßßßßßßßßßßßßßßßßßßß Recoils from 1670000 eV electrons in SiO2(1200A)+GaAs(10000A) ÉÍÍ Incident ÍÍËÍÍÍÍÍÍÍÍÍÍÍÍÍÍÍÍÍÍ Recoil Data ÍÍÍÍÍÍÍÍÍÍÍÍÍÍÍÍÍÍÍÍÍÍÍÍÍÍÍÍÍÍÍ» º Particle ºAtomic Energy Depth Lateral-Posit. Recoil Direction º º Numb Energy ºNumb (eV) (A) (A) (A) Cos(X) Cos(Y) Cos(Z) º ÓÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÐÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄÄĽ 1 1.64E6 8 59.2 322 24 12 0.99998 .000012 -.000017 1 1.56E6 14 1259. 1122 33 69 0.62344 -.295513 .003415 1 1.31E6 31 9.1 2322 82 154 0.34234 -.336437 -.017437 1 1.01E6 33 922. 6822 206 588 0.03754 .032936 -.334616 1 8.88E5 33 48.8 10.3E3 432 12.3E2 -0.23258 -.543453 .443483 2 1.64E6 8 59.2 522 -24 12 0.99998 .000012 -.000017 2 1.56E6 14 1259. 2222 -33 69 0.62344 -.295513 .003415 2 1.31E6 31 809.1 3322 -82 154 0.34234 -.336437 -.017437 3 1.01E6 33 2922. 8822 -206 588 0.03754 .032936 -.334616 3 8.88E5 33 348.8 11.1E3 -432 12.3E2 -0.23258 -.543453 .443483